傅利葉變換紅外光譜分析儀

描述

MKS MultiGas™ 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導體生產工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MultiGas™ 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達40%水的氣流，能同時分析和顯示多達30種氣體。分析儀儲存了校準光譜，故省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會發(fā)現MultiGas™ 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀操作簡便，易于維護。

MultiGas™ 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀由保護的2102傅利葉變換紅外制成分光計，高光通量取樣單元，專業(yè)分析軟件及獨立的定量光譜庫組成。MultiGas™6030收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫分析，提供絕大多數氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測量。

傅利葉變換紅外光譜分析儀特點和優(yōu)點

l10ppb-100%靈敏度對于絕大多數有毒有害氣體

l易于移動從一處移到另一處，設置僅需幾分鐘

l同時分析和顯示多達30種氣體

l分析儀儲存了校準光譜，省去了氣體筒的成本

l取樣氣體在進入分析室前加熱并維持恒定溫度

l保護的線性檢測器，確保所有分析儀維持在相同的校準條件下

l頻率和分辨率診斷，確保校準恒定

l提供自動溫度和壓力補償以確保分析精度

l用戶操作簡便軟件界面，稍加培訓即可操作

傅利葉紅外光譜分析儀應用

l煙囪監(jiān)測器

l工藝監(jiān)測改進和優(yōu)化

l空氣環(huán)境分析

l氣體純度分析

l燃燒排放監(jiān)測

l選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測

光譜分析

Multigas的分析器有個具有定量和多功能的分析軟件，它能同時分析和報道許多混合物的濃度，這個能在個人電腦上運行的軟件，能對分析器直接量測到的氣體溫度和壓力的變化進行自動修正。樣本的收集和分析在一秒內完成，進行瞬時分析。

殘留光譜：除去樣本示范的校準

整個數據整理過程中，MultiGas 軟件一邊計算SETUP里面選擇氣體的濃度，一邊不斷的收集和描繪光譜。顯示形式包括濃度歷史的圖表和列表形式，測得的光譜和殘余光譜。這個殘余光譜能被用來確定分析的誤差，使得QA/QC變得簡單和真實。當解決了所有被提及的光譜后，殘留光譜就描繪“剩余的"光譜信息一次。一旦光譜被收集和保存，這些光譜可以在任何時候利用同樣或不同的零點設定進行再工藝。

工藝的時間線

半導體堆的紅外光譜：樣品(白)，校準(有顏色的) MultiGas 6030能同時區(qū)分相似的分子

對應環(huán)境和工藝監(jiān)控的特殊設計，2102傅利葉變換紅外分光計是緊湊和粗糙的，能夠在0.5cm-1的光譜決議上操作，是可用的處理FTIR方式中最快速，靈敏和穩(wěn)定的！另外，它能在在惡劣環(huán)境下操作，具有對高溫，振動和溫度變化的免疫。更可貴的是，高速率的數據處理系統(tǒng)是標準的，為分析提供低噪音的紅外光譜。

2102  傅立葉變換紅外分光計

這個分光計連接到一個小體積(200mL) 多變換，有5.11米有效通道的取得zl權的氣室，這個氣室的zl設計結合了非球面的，非端正的鏡子，它能為傳統(tǒng)的多變換氣室提供兩倍光學吞吐量。做為選擇，一個單變換的氣室能用于很高濃度的高腐蝕或者強吸收率的氣體，任何一種氣室在環(huán)境溫度到191℃之間操作。

5.11米光路，200毫升，長通道測量氣室8-1/2"x 2"x 3-1/2",運用zl的非端正光學以達到最大的靈敏性

儀器的自主校準

MultiGas 的軟件有多點校準圖，能提供一個動態(tài)的范圍至10-9的的數量級.許多核數的校準都由其提供，另外，用戶也可以通過已知的濃度來進行校準。MultiGas 軟件檢驗每個工具的性能的效用，使它能把一個已經在一臺機器上校準的的值用于其他任何一臺機器上，而且不用變更。

傅利葉變換紅外光譜分析儀規(guī)格

分析儀主機

l測試技術：傅利葉變換紅外光譜

l可測試氣體或水蒸氣:絕大多數分子除了氮氣，氧氣和氫氣

l  范圍:濃度從10ppb到100%

l  傅利葉變換紅外:2102制成傅利葉變換紅外

l 光譜分辨率:0.5-128cm-1

l  掃描速度：每秒1次在0.5cm-1

l     掃描時間：1 - 300秒

l    紅外源：碳化硅在1200℃

l   參考激光：氦氖（15798.2cm-1

l  檢測器：液氮冷卻MCT或半導體制冷冷卻MCT（汞-鎘-碲化物）

l 清潔(Purge)壓力：最大20PSI(1.5bar)

l    光譜室Purge流量：0.2升/分，干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的干燥空氣

l   光學系統(tǒng)Purge流量：0.2升/分，干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的干燥空氣

l  壓力傳感器：MKS Baratron®電容式薄膜壓力傳感器

l     Purge連接：Swagelok®快速接頭

l   電腦要求：臺式或筆記本電腦帶Intel奔騰®處理器,微軟Wingdows®XP操作系統(tǒng)，1024 X 768顯示

l       通訊口：RJ-45交叉以太網

l    輸出選件：XML，模擬，AK，其他

l      尺寸：445mm寬 × 318mm高 × 648mm深

l  安裝：可安裝于19英寸標準機柜

l  電源：110V或220V，50/60hz，3A

l  重量：50公斤

分析儀采樣參數

l    采樣溫度：室溫至200℃（取決于校準溫度）

l  采樣速流：0.2 –10升/分

l   采樣壓力：0.01 –4大氣壓（取決于校準壓力）

分析儀氣體室

l              結構 ：鍍鎳鋁，或316不銹鋼焊接選件

l             接頭 ：Swagelok®或VCR®

l            采樣壓力 ：1個大氣壓（取決于校準壓力）

l            管道：加熱不銹鋼

l            鏡：鋁襯底鎳板，鍍金

l            窗口：KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可選)

l        “O"型密封圈：Viton®，(其他可選)

檢測極限

5.11米氣室，MCT檢測器在0.5cm-1分辨率下，下列典型氣體低檢測數據為：